MIKRO-NANO-INTEGRATION
Fachartikel
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Schwingungsbasierter Nachweis von Biomolekülen
SENSOR MAGAZIN 5/November 2018
Die Möglichkeit, Bewegungen von Mikrosystemen bei hohen Frequenzen mit sub-
Nanometer-Auflösung zu erfassen, ist der Schlüssel zur Entwicklung resonanz-
basierter Sensortechnologie der nächsten Generation.
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Konsequente Miniaturisierung: SOIC-Niederdrucksensoren – SM9333
SENSOR MAGAZIN 4/September 2018
In diesem Artikel beschreibt AMSYS den Aufbau und die Eigenschaften des neuartigen
SOIC-Drucksensors SM9333, der ein Beispiel für die konsequente Miniaturisierung eines
differentiellen Niederdrucksensors ist. Im Wesentlichen besteht der OEM-Sensor nur aus
zwei Halbleiterbausteinen, einem MEMS (mikroelektromechanischer Sensor) und einem
ASIC (anwendungsspezifisches IC). Die Messzelle und die gesamte Auswerteelektronik
mit den gespeicherten Abgleichkoeffizienten sind in einem normalen 16-Pin IC-Gehäuse
untergebracht.
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Mikrotechnikbranche stellt ein – positive Trends
der letzten Jahre setzen sich fort
SENSOR MAGAZIN 2/Juni 2018
Positive Entwicklungen der europäischen Mikrotechnikbranche, die sich in den Vorjahren
abzeichneten, setzen sich in diesem Jahr, zum Teil verstärkt, fort. Dies hat die diesjährige
Datenerhebung des IVAM Fachverband für Mikrotechnik bestätigt. Dazu zählen ein fortgese-
tzter Aufwärtstrend bei Mitarbeiterzahlen und Umsätzen sowie ausgesprochen gute Prog-
nosen in beiden Bereichen für die kommenden drei Jahre.
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Vom Drucken zum Drehen mit Mikromaterialien
SENSOR MAGAZIN 1/März 2018
Mit 3D-Druckern für den Mikrobereich ist es Forschern des Karlsruher Instituts für Techno-
logie (KIT) gelungen, ein Metamaterial aus würfelförmigen Bausteinen zu schaffen, das auf
Druckkräfte mit einer Rotation antwortet. Üblicherweise gelingt dies nur mithilfe einer Über-
setzung, wie zum Beispiel einer Kurbelwelle. Das ausgeklügelte Design aus Streben und
Ringstrukturen, sowie die zu Grunde liegende Mathematik stellen die Wissenschaftler in
der aktuellen Ausgabe der renommierten Fachzeitschrift »Science« vor.
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Wirkungsgradrekorde für Solarzellen von morgen
SENSOR MAGAZIN 4/November 2017
Die Zusammenarbeit von Forschern des schweizer CSEM, der EPFL und des US NREL
verbessert gleich zwei Wirkungsgrad-Weltrekorde für Silizium-basierte Tandemsolarzellen
auf 32,8 % und 35,9 %.
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Mikro-Nano-Integration: Weiterbildung leicht gemacht
SENSOR MAGAZIN 3/September 2017
Die Komplexität von Produkten steigt in allen Branchen und gleichzeitig verkürzen sich die
Innovationszyklen. Man geht von einer Verdoppelung des Wissens innerhalb von fünf Jahren
aus. Nach Schätzungen ging man im 18. Jahrhundert noch von hundert Jahren für eine Ver-
doppelung aus.
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Ultra-kleine Feuchtesensoren für Consumer-Anwendungen
SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2017
Die Entwicklung der Mikroelektronik hat die moderne Gesellschaft in den vergangenen Jahr
zehnten so stark beeinflusst, wie kaum eine andere Technologie. Der Fortschritt in der
Elektronik hat dafür gesorgt, dass heutzutage Rechenleistung sowie drahtlose Kommunika-
tion günstig und dadurch allgegenwärtig verfügbar sind. Sollen Informationen über Umwelt-
bedingungen verarbeitet und kommuniziert werden, sind allerdings Sensoren notwendig,
die diese Daten erfassen. In diesem Bereich werden inzwischen Technologien aus der
Mikroelektronik eingesetzt. Im Ergebnis werden Sensoren kleiner, leistungsfähiger,
verbrauchen weniger Energie und werden zudem noch günstiger.
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Ultradünnes Glas als Substrat für Sensoren mit mikromechanischer Funktion
SENSOR MAGAZIN 1/März 2017
Hersteller von Sensoren und Mikrochips stehen vor der andauernden Herausforderung, eine
wachsende Anzahl von aktiven Bauteilen in immer kleinere Formen zu bringen. Dies gilt
ebenso für mikroelektromechanische Systeme, auch MEMS. Diese miniaturisierten Geräte
bestehen üblicherweise aus mechanisch beweglichen Teilen, einer Steuerungselektronik
sowie mehreren Sensoren, die auf einem Substrat platziert werden. In der Regel kommt
Silizium als Trägerstoff zum Einsatz, oftmals Hightech-Polymere als Verbundstoff. Nun
hat Silizium sehr viele herausragende Eigenschaften, die nur schwer durch andere Werk-
stoffe ersetzt werden können. Und doch gibt es Möglichkeiten, hier auf preisgünstige
Alternativen zu setzen.
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Erstes System zur kostengünstigen Vor-Ort-Überwachung
SENSOR MAGAZIN 5/November 2016
Das Fraunhofer ICT-IMM entwickelte im Auftrag und in Kooperation mit dem Industriekonsortium
SASforREACH einen Aufbau zur Streulichtanalyse, der es Auftragslaboratorien ermöglicht, mit
geringem personellem und finanziellem Aufwand kleinste nanopartikuläre Fraktionen in wässrigen
Lösungen aufzuspüren.
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Kunststoffe Schicht für Schicht in Form bringen
SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2016
Die meisten bahnbrechenden Technologien basieren auf einer einfachen und überzeugenden Idee.
Das gilt auch für Methoden zur werkzeuglosen Herstellung von Bauteilen mit dem Arbeitstitel
»Additive Manufacturing«.
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Mikromotoren helfen trägen Spermien
SENSOR MAGAZIN 1/März 2016
Wissenschaftler des Leibniz-Instituts für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden – kurz
IFW Dresden – veröffentlichten im ACS Journal Nano Letters spektakuläre Ergebnisse zum
Thema männlicher Unfruchtbarkeit.
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