MIKRO-NANO-INTEGRATION
Fachartikel
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Oberflächenstrukturierung von MEMS-Bauteilen mittels Ionenstrahl-
prozessen
SENSOR MAGAZIN 4/November 2011
Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) werden bereits seit geraumer Zeit in
der Herstellung von Sensoren für die Automobilindustrie, die Mobilkommunikation
und in verschiedenen anderen Anwendungsbereichen eingesetzt.
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3D-Laserlithografie in Biotechnologie und Medizintechnik
SENSOR MAGAZIN 3/September 2011
Mit der Laserlithografie lassen sich selbst sehr komplexe dreidimensionale Mikro- und
Nanostrukturen in photosensitiven Materialien herstellen. Realisierbar ist die für solche
Anwendungen erforderliche hohe Präzision beim dreidimensionalen 'Laser-Schreiben'
jedoch nur, wenn die zu bearbeitenden Materialien entsprechend genau positioniert
werden.
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RFID-Werkzeugidentifikation – Eine etablierte Technologie mit Mehrwert
SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2011
Vor dem Hintergrund stetig wachsender Automation und der damit anwachsenden Daten-
mengen, die für eine umfassende Werkzeugverwaltung notwendig sind, hat sich die Werk-
zeugidentifikation mit RFID-Technologie etabliert. Sie ermöglicht einen automatischen Da-
tenfluss zwischen allen im System integrierten Maschinen und Anlagen. Dies reduziert
nicht nur Rüstzeiten erheblich, sondern bietet gleichzeitig Sicherheit durch Vermeidung
von Fehlern bei der Eingabe. Darüber hinaus geben zugeordnete Daten aus Prozesssta-
tistiken Auskunft über die Nutzung der Werkzeuge, was zur Optimierung von Standzei-
ten führt.
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Atmosphärendruck-Plasma setzt Maßstäbe bei der Leiterplattenlackierung
SENSOR MAGAZIN 1/März 2011
Leiterplatten von potentiometrischen Weg- und Winkelsensoren werden im Siebdruckver-
fahren mit einem elektrisch leitfähigen Lack bedruckt. In der Produktion eines süddeut-
schen Sensorherstellers führte der Einsatz von atmosphärischem Plasma zur Vorbehand-
lung der Platten zu beeindruckenden Ergebnissen.
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Kraftmessung mit optischen Pinzetten in Nano-Dimensionen

SENSOR MAGAZIN 4/November 2010
Untersuchungen von Wechselwirkungen und Kräften auf dem Niveau der Einzelmoleküle
sind für die unterschiedlichsten Forschungsrichtungen interessant, da sich mit ihrer Hilfe
viele Informationen über chemische und mechanische Eigenschaften oder biologische
Funktionen gewinnen lassen.
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Mikrogreifer für die Mikro- und Nanoforschung

SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2010
Innovationen und gute Produktideen entstehen im Austausch kreativer Köpfe und erfindungs-
orientierter Visionäre. Aus diesem Grund veranstaltete das Fachgebiet Mikro- und nanoelek-
tronische Systeme unter Leitung von Prof. Ivo W. Rangelow im Jahr 2009 an der TU Ilmenau
einen Arbeitsworkshop zum Thema »Nanowerkzeuge – Mikrogreifer«. Die rund 50 Teilnehmer
nutzten die Gelegenheit, sich über aktuelle Trends und Entwicklungen im Bereich Nanowerk-
zeuge – Mikrogreifer zu informieren und ihr Experten-Netzwerk auszubauen.
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[english]
Piezo-Würfel für die 3D-Strukturierung
SENSOR MAGAZIN 1/März 2010
Piezo-Nanopositioniersysteme sind für hochpräzise Positionieraufgaben heute praktisch ohne
Alternative: Sie erreichen Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich bei Ansprechzeiten
unterhalb einer Millisekunde, sind vakuumkompatibel und arbeiten in einem weiten Tempera-
turbereich. Dadurch erschließen sie sich immer wieder neue Einsatzbereiche.
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Nanoantennen als optische Sensoren für Highspeed-Datennetze

SENSOR MAGAZIN 4/November 2009
Mehr als 120 Jahre nach der Entdeckung der elektromagnetischen Natur der Funkwellen durch
Heinrich Hertz beherrscht die drahtlose Datenübertragung die Informationstechnologie.
Um immer mehr Daten in kürzerer Zeit zu übertragen, kommen immer höhere Funkfrequenzen
zum Einsatz. Vor einigen Jahren fanden Wissenschaftler heraus, dass man auch mit Lichtwellen
funken kann. Die Herstellung der winzigen Antennen war aber bislang äußerst aufwendig.
KIT-Wissenschaftlern ist es nun erstmals gelungen, kleinste optische Nanoantennen aus Gold
gezielt und reproduzierbar anzufertigen.
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Mikro-Nano-Integration auf dem Vormarsch
SENSOR MAGAZIN 3/September 2009
Die Querschnittstechnologien »Mikrosystemtechnik« und »Nanotechnologie« haben in den letzten
Jahren umfangreiche neue Erkenntnisse und Ideen aus der Forschung geliefert, von denen einige
in erfolgreiche Produkte mündeten.
Das Zusammenspiel von Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie sowie deren Integration lässt
neue oder verbesserte Produkte und Fertigungsprozesse erwarten.
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Silizium »out« – Kohlenstoff-Nanoröhren »in«

SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2009
An der ETH Zürich entwickeln Forscher neuartige Gassensoren, basierend auf Kohlenstoff-Nanoröhren.
Die nach dem chemischen FET (Feld Effekt Transistor)-Prinzip funktionierenden Sensoren könnten in
Feuermeldern und der Abgasüberwachung sehr breite Anwendungsfelder erschließen.
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[english]
Innovative Infrarot-Strahler verbessern die Produktion von Solarzellen
SENSOR MAGAZIN 1/März 2009
Die Photovoltaik hat in den letzten Jahren stark an Bedeutung als alternative Energiequelle gewonnen.
Solarzellen nutzen die Energie der Sonne zur Herstellung von Strom. Umso wichtiger ist die effiziente
Fertigung von qualitativ hochwertigen Solarzellen. Ein von Heraeus entwickelter Infrarot-Strahler mit
dem neuen QRC®-Reflektor (QRC = quartz reflective coating) hilft in der Photovoltaik bei der energie-
sparenden Produktion von Solarzellen.
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Sensoren übernehmen das Wachstum im weltweiten MEMS-Markt

SENSOR MAGAZIN 3/September 2008
Der Weltmarkt für MEMS – mikroelektromechanische Systeme – wird auf 8,8 Milliarden US$ im Jahre
2012 ansteigen, nach rund 6,1 Milliarden US$ in 2006. Diese Vorhersage kommt von Jérémie Bouchaud,
Direktor für MEMS bei iSuppli Corporation. Dabei hatten in der Vergangenheit die Aktuatoren wie Tinten-
strahl-Druckköpfe und DLP (Digitale Licht Prozessoren) von Texas Instruments den Markt dominiert.
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Kohle veredeln – der Weg zu Carbon-Nanotubes und deren Nutzung
SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2008
Unser Verständnis von Materialien, Fertigungstechniken und ihren Anwendungen geht laufend weiter. Dies
betrifft insbesondere das Halbleitermaterial Silizium, das unsere Zeit in den letzten sechs Jahrzehnten grund-
legend geprägt hat. Es begann mit der Erfindung der Transistoren 1947 in den Bell-Laboratorien, durch die
sich innerhalb weniger Jahre der Industriezweig der Mikroelektronik entwickelt hat. Mit diesen elektronischen
Produkten und den daraus abgeleiteten Sensoren wurde unser heutiges Leben stark geprägt.
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Dünnschicht-Technologie als Foundry Service:
Ein neuer Weg für biochemische MEMS-Plattformen
SENSOR MAGAZIN 1/März 2008
Planare Mikro- und Nanostrukturen in Dünnfilmtechnologie bieten eine Basis für viele Anwendungen in der
Mikrosystemtechnik. Nur in wenigen Fällen erscheint es wirtschaftlich sinnvoll, in eine eigene Reinraum-
Fertigungslinie zu investieren. Weitaus häufiger bietet sich die Alternative an, eine Foundry mit einem weiten
Spektrum von MEMS-Technologien als Dienstleister zu nutzen.
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Die Mikrosystemtechnik traf sich in Dresden

SENSOR MAGAZIN 4/November 2007
»In der Mikrosystemtechnik ist Deutschland weltweit führend«, dies bekräftigte die Ministerin für Bildung und
Forschung, Frau Dr. Annette Schavan, auf dem Mikrosystemtechnik-Kongress in Dresden, der gemeinsam
vom BMBF und dem VDE veranstaltet wurde. Dort trafen sich vom 15. bis zum 17. Oktober 2007 an die 1.000
Experten aus Industrie und Forschung, Produzenten und Anwender, Ausbilder und Studenten, Politik und
Netzwerken.
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Nano trifft Mikro – Beispiele von Innovationen aus Hessen
SENSOR MAGAZIN 3/September 2007
Die Mikrosystemtechnik ist heute eine etablierte Technologie und ein Jobmotor zur Schaffung von sicheren
Arbeitsplätzen. Nach Angaben des VDI-IT sind rund 680.000 Arbeitsplätze direkt mit der Mikrosystemtechnik
verbunden. Man findet mikrosystemtechnische Produkte im Automobil, in der Nachrichtentechnik, in der Kon-
sumgüterindustrie, Gebäudetechnik, Umwelt, Chemie, Pharma- und Biotechnologie und der Medizintechnik.
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Erste Photonic Solutions Platform™ auf Basis organischer Halbleiter
SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2007
NANOIDENT Technologies AG, Führer in der Entwicklung und Produktion optoelektronischer Sensoren auf
Basis organischer Halbleiter, hat die erste organische Photonic Solutions Platform™ entwickelt. Die neue
Plattform-Technologie ermöglicht die kundenspezifi sche Realisierung organischer optoelektronischer Kom-
ponenten mit einzigartigen technischen Eigenschaften für eine große Anzahl unterschiedlicher Anwendungen
in den Märkten Industrie, Life Science, Consumer, Sicherheit oder Telekommunikation.
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Mikro-Nano-Integration
SENSOR MAGAZIN 1/März 2007
Das Wachstum in Deutschland wird durch die Nutzung von Wissen in der Form von Hochtechnologie geprägt.
Diese Entwicklungen beginnen oftmals an Forschungsinstituten und Universitäten, in denen die Grundlagen für
Anwendungen und für Produktentwicklungen gelegt werden, die dann schließlich zu neuen und verbesserten
Produkten in der Industrie führen. Mit diesen Produkten sollen dann die Bedürfnisse der Verbraucher gedeckt
werden.
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Sensorpackaging im Batchverfahren mit RMPD® und 3D-CSP

SENSOR MAGAZIN 4/November 2006
Die Integration von Sensoren und Auswerteelektronik in einem für den Messort angepassten Gehäuse ist eine
der vielfältigen Aufgaben der Mikrosystemtechnik. Standard-Sensoren zu günstigen Preisen stehen zur Ver-
fügung, können aber in herkömmlichen Technologien nur schwer in kleine Messräume integriert werden.
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[english]
Memosens-Technologie jetzt auch für glaslose pH-Sensoren auf ISFET-Basis
SENSOR MAGAZIN 3/September 2006
Die Familie der Sensoren mit Memosens-Technologie von Endress+Hauser hat neue Mitglieder bekommen.
Neben den pH-Glaselektroden, die bereits seit Jahren erfolgreich in der Analysenmesstechnik eingesetzt
werden, sind nun auch die glaslosen Tophit-pH-Sensoren auf ISFET-Basis mit Memosens-Technologie
erhältlich.
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Zahnräder für schmierungsfreie Getriebe
SENSOR MAGAZIN 1/März 2006
Innovative Hochtechnologie aus dem Forschungszentrum Karlsruhe findet sich seit kurzem im Inneren von
hochpräzisen mechanischen Getrieben, z. B. in Schweizer Luxusuhren und in Miniaturgetrieben für kleinste
Motoren. Bereits seit einiger Zeit werden Anker und Ankerräder, die wichtigsten Bauteile in mechanischen
Uhrwerken, serienmäßig im LIGA-Verfahren hergestellt. Seit kurzem werden die Bauteile auch für die bislang
kleinsten Getriebe mit Durchmesser 6 mm eingesetzt.
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